参数特征
①型号:KY125;
②尺寸:整机长×宽×高 =3450×2250×3200;
③结构紧凑;腔室采用双层水冷不锈钢材质;
④炉室内径: φ900mm;
⑤晶体重量:125±25kg ;
⑥加热方式:钨电阻加热;
⑦炉内温度:2150℃;
⑧极限真空≤5x10-1 Pa;
⑨漏率≤ 1 Pa/h;
⑩籽晶提升行程 :400mm
⑪籽晶慢速提升速度:0-20mm/h;
⑫籽晶快速提升速度:0-10mm/min;
⑬籽晶旋转速度:0-20rpm;
⑭称重精度:300kg±15g。
优点利处
①钨钼和氧化锆、氧化铝砖合理搭配,保温好,功率低;
②惰性气体作保护,挥发物较少,热场使用寿命明显延长;
③热场支柱改进升级,增强稳定性和底部导热性,提高了温度梯度;
④熔体流动性较明显,利于引晶观察及判断炉内情况;
⑤生长周期较短,能耗较低,取材率明显提高;
⑥装料重量125±25kg ;
⑦一键智能启动,减少人工干预,利于规模化生产控制;
⑧可选配热场及生长工艺;
⑨长期成本相对较低。