参数特征
① 加工棒料直径150~220mm(6-8英寸)/200~320mm(8-12英寸)
② 加工棒料长度100~600mm(6-8英寸)/100~450mm(12英寸)
③ 磨削加工精度:椭圆度≤0.05mm/L300mm
④ 圆锥度≤0.05mm/L300mm
⑤ 直径精度<0.05mm/L300mm
⑥ 平面粗糙度Ra≤2μm 弧面粗糙度Ra≤2μm
⑦ OF宽度: ±0.1mm
⑧ V-NOTCH深度:1.00~+0.25mm
⑨ 顶端R角形状: R0.9~0.94mm(可定制)
⑩ V角形状: 89°~93°(可定制)
⑪ 晶向精度:<±12′
⑫ 进气压力:5~7bar
⑬ 工业用水压力:0.25~0.35MPa
⑭ 设备外形尺寸:4900×2810×2350mm
⑮ 设备总功率:30kW
⑯ 设备自重:10.5t
设计优点
① 硅棒自动对中夹持
② 自动检测硅棒外径
③ 外圆粗、精磨一体,在同设备完成
④ 自动进行晶向检测
⑤ 自动测算定位边/Notch角,进行精确加工
⑥ 带清洗吹干系统,方便二次检测
交付周期
① 主设备预付款到账后 90天