参数特征
①型号：KX150MCZ；
②炉室内径：φ1118mm；
③副室平开门尺寸：宽533.4mm，高2210mm ；
④喉口直径： φ356mm ；
⑤籽晶提升速度：0~508mm/hr or ± 0.25 mm/hr，两者取其大；
⑥籽晶提升快速（标称）：400mm/min
⑦籽晶转速及精确值:0~35 RPM±1%S.P, or ±0.05RPM，两者取其大；
⑧坩埚提升速度及精确值：0-127 mm/hr ± 1% S.P, or ± 0.25 mm/hr，两者取其大；
⑨坩埚提升快速（标称）：127mm/min
⑩坩埚转速及精确值：0-30 RPM ± 1% S.P , or± 0.03 RPM ，两者取其大；
⑪电源类型：IGBT，可选配带谐波治理功能；
⑫过滤罐：可选自清洁型、两个并联安装等配置；
⑬主泵：干式真空泵（可变频），副泵：油泵/一拖多干式真空泵，重掺砷等有毒物质时：配置水环泵，可选日本宇野泽（UNOZAWA）和美国某品牌的水环泵；
⑭磁场选配范围：拉直径≤8英寸晶体，可选配CUSP磁场；拉＞8英寸晶体，可选配超导磁场；
⑮可拉晶体直径：最大12英寸；
⑯可拉晶体类型：N型/P型；
⑰装料量： 320kg 。
优点利处
① ①应用领域：轻掺、磁控；
② ②腔体材质：内层：进口316L不锈钢，外层： 304L不锈钢；
③ ③腔室洁净度：镜面精密抛光，适宜各重掺和轻掺的硅单晶生长；
④ ④整机优异的刚性性能；
⑤ ⑤运动部件引起的振动、冷却水湍流等方面的隔振技术；
⑥ ⑥保护气体进气：1）水冷套内外各一路， 2）副炉室顶部一路；
⑦ ⑦应用高精度气体质量流量计+ 进口真空计 + 高精度蝶阀，气体质量流量计 ：流量精度：± 0.2% F.S；控压精度： ± 0.5%；
⑧ ⑧并联双罐在线自动切换，气体吹扫在线清理系统；
⑨ ⑨进口称重传感器：精度在+/- 0.5kg 公斤以内；
⑩ ⑩增加相机测温和调温功能(视觉直径测量、液位测量和温度测量)；
⑪ ⑪液面与导流筒的相对位置动态数据全程采集、记录；
⑫ ⑫报警和安全保护：液面异常下降、抽空口温度异常、炉内压力异常、冷却水超温、功率故障等；
⑬ ⑬在出现拉晶断棱回熔以及硅料复投等非正常拉晶工艺时，都可从系统中选择相应的自动工序来运行；
⑭ ⑭恒拉速等径控制；
⑮ ⑮引颈自动预热、熔接和调温；
⑯ ⑯有自己的整机验证、热场和长晶工艺技术验证，有基础的热场和长晶工艺；
⑰ ⑰CCz系统、及长晶工艺和控制技术，行业内领先；
⑱ ⑱应用CCz技术，为某晶片厂商代工，指标优异；
⑲ ⑲固体连续掺杂：红磷；
⑳ ⑳晶体电阻率：Min：1mΩ*cm；（行业内一般为Min：2mΩ*cm）。
交付周期
① 主设备预付款到账后 90天 （辅助设备、重要辅材类视市场情况而定）
