参数特征
① 主机外形尺寸:15100mm×2600mm×3000mm(L×W×H)
② 上料花篮:18 个/台
③ 上下料小车:3 个/台
④ 硅料种类:单晶边皮料、棒料、块料及头尾料
⑤ 硅料尺寸:单晶边皮料: 长 850mm ( max)单晶块料: 8x8~100xl00mm单晶棒料: φ310x400mm
⑥ 上下料方式:自动上下料
⑦ 清洗节拍:≤5 分钟/框(用户自定,可调)
⑧ 机械手额定负载:>80kg
⑨ 设备开机率:≥98% (设备开机率=月设备正常运行时间/当月计划开机时间)
⑩ 清洗机质量:硅料表面洁净无杂质,表面没有肉眼可见的污渍,无酸残留
⑪ 电 源:3 相 5 线 380VAC 50Hz
⑫ 整机总功率:约 170Kw
设计优点
① 料篮移动采用龙门小车平移,机械手顶部移动,传动机构外置避免腐蚀,升降轴机顶用风琴罩隔开
② 转篮设计大于90kg/框,清洗节拍,3-5分钟/框
③ 采用真空干燥
④ HF+HN03放热采用后部冷却循环槽冷却,试剂采用磁致伸缩补液桶进行配补液操作
⑤ 上下料小车采用气动拉钩及导向板定位,每个小车上放置三个转篮。
⑥ 转篮外径400mm长1200mm,可容纳>90kg.硅料。
⑦ 水下潜送;
⑧ 纯水漂洗加热85℃;
⑨ 烘干采用螺杆正空泵进行抽真空,配备压力感应,水冷电机及螺杆真空机,通过多通道球阀切换真空及进行破真空;
⑩ 槽内设置辐射式加热管进行加热,加热功率18kw
⑪ 底部设置吹扫管进行转篮底部吹扫;
带来利处
① 本设备为全自动机械手搬运,采用滚动提篮清洗方式,可对多种 硅料(块状、片状) 腐蚀清洗处理。具备HF+HN03混合酸液腐蚀清洗和试剂(弱 酸) 浸泡清洗两种工艺清洗功能。保证溶液及硅料不与任何金属接触;
交付周期
① 交付:新机台订单到交货:60天;
② 现场安装调试达产:4天/台2人