证券代码：835368
最大可兼容至42吋热场，满足更大投料量、更大规格晶棒的生产需求。预留多种可升级模块，技术升级性价比高，兼容更长周期技术路线变革
ü实现更大尺寸规格晶棒生产
ü可拉制更低头部氧含量产品
ü更低运行功耗实现降本增效
ü广泛兼容未来技术升级方向
坩埚装载容量
33吋 700Kg
37吋 1000Kg
40吋 1200Kg
可选配置
“一键拉晶”模块 真空泵
外置加料装置 热场组件
取晶车/热场转运车 加热电源
专用工装工具 低氧方案2.0
