产品详情
全自动单晶生长炉
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全自动单晶生长炉

型号:KX360PV/ KX380PV
类目:硅片设备
研发:凯克斯事业部
详细介绍

参数特征

    炉室直径1400/1600mm

    副室高度5500mm(可增加1.6米延长室)

    喉口直径350-410mm(可定制)

    坩埚总行程650/800mm;坩埚尺寸最大兼容至40吋

    投料量800-1000KG

    设备自重:12t

设计优点

    下轴承载设计利于大尺寸热场使用;

    不同线径钨丝绳切换灵活,专利设计可降低机构自重并提升晶绳使用寿命;

    具备更可靠的防爆泄压口设计;

    采用高强度机架,长期运行变形小;

    水冷热屏单独供水提升单晶生长速度;

    采用西门子PLC控制系统,稳定可靠;

    智能视觉系统自动监测硅料融化情况,调温时间大大降低,关键工艺环节晶体直径自动测量及控制;

    理论并网240台+设备对其进行远程监控,各类功能强大、灵活 ;

    使用CGSIM软件对热场进行模拟分析及优化;


交付周期

    标准化产品:预付款到账后60天陆续交货,根据库存及所需数量可考虑加急;标准定价

    定制化产品:视定制内容,一般预付款到账后90天陆续交货;根据成本定价