锗单晶生长炉KX100-Ge-大连连城数控机器股份有限公司
所在位置:首页 - 营销客服 - 文件下载
锗单晶生长炉KX100-Ge
发表时间:2014-09-23      

Performance   性能

Typical Ingot Diameter单晶直径

100-200 mm(4-8")

Pull Chamber Height 副室高度

1750 mm (69”)

Throat Diameter 喉口直径

305 mm (12”)

Furnace Diameter 炉室内径

865 mm

Seed Lift Rate 籽晶提升速率

0-508 mm/hr

Seed Jog Speed (Nominal)

籽晶快速提升速率(最大)

508 mm/min

Total Crucible Travel 坩锅最大行程

380 mm (15")

Crucible Lift Rate 坩锅提升速率

0-254 mm/hr

Crucible Jog Speed (Nominal)

坩锅快速提升速率(最大)

50.8 mm/min

Seed Rotation (Reversible)

籽晶旋转速率(可逆)

0-50 rpm

Crucible Rotation (Reversible)

坩锅旋转速率(可逆)

0-20 rpm

锗单晶生长炉KX100-Ge