半导体级晶体生长炉CG6000-大连连城数控机器股份有限公司
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半导体级晶体生长炉CG6000
发表时间:2014-09-23      

Performance  性能

Furnace Chamber Diameter 炉腔内径

762 mm (30 in) 

Pull Chamber Doorway Height 副室高度

2108 mm (83 in)

Throat Diameter 喉口直径

254 mm (10 in)

Seed Lift Rate 晶升速率 

0-508 mm/hr

Seed Jog Speed (Nominal) 

籽晶快速提升速率(最大)

508 mm/min

Total Crucible Travel 锅最大行程

292 mm (11.5 in )

Crucible Lift Rate 锅提升速率

0-254 mm/hr

Crucible Jog Speed (Nominal) 

锅快速提升速率(最大)

50.8 mm/min

Seed Rotation (Reversible)

籽晶旋转速率(可逆)

0-50 rpm

Crucible Rotation (Reversible) 

转速率(可逆)

0-20 rpm


半导体级晶体生长炉CG6000