太阳级晶体生长炉 KX170PV-大连连城数控机器股份有限公司
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太阳级晶体生长炉 KX170PV
发表时间:2014-09-23      

Performance性能

Furnace Chamber Diameter 炉腔内径

1040 mm (40.9 in)

Pull Chamber Height 副室高度

2,800 mm (110 in)

Throat Diameter 喉口直径

305 mm (12 in)

Seed Lift Rate 籽晶提升速率

0-508 mm/hr

Seed Jog Speed (Nominal) 

籽晶快速提升速率(最大)

400 mm/min

Total Crucible Travel 

锅最大行程

500 mm (19.6 in )

Crucible Lift Rate 锅提升速率

0-127 mm/hr

Crucible Jog Speed (Nominal)

锅快速提升速率(最大) 

127 mm/min

Seed Rotation (Reversible)

籽晶旋转速率(可逆)

0-30 rpm

Crucible Rotation (Reversible) 

转速率(可逆)

0-30 rpm


太阳级晶体生长炉 KX170PV